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方案分享丨 金剛砂線開刃機(jī)

2022-6-24新聞

 01

背景介紹


近期,各大自動(dòng)化公司相繼發(fā)布關(guān)于產(chǎn)品貨期延長及產(chǎn)品漲價(jià)的通知,其根本在于芯片價(jià)格的持續(xù)暴漲及芯片供應(yīng)周期的不斷延長,這場持續(xù)兩年之久的“缺芯潮”不僅沒有得到緩解,甚至因?yàn)槎頌鯖_突等各方面原因的共同作用愈演愈烈。

作為芯片生產(chǎn)過程中的重要半導(dǎo)體原材料之一的金屬硅具有熔點(diǎn)高(1410)、硬度大、有脆性、常溫下化學(xué)性質(zhì)不活潑的特性。在整個(gè)單晶硅和多晶硅從硅棒(晶錠)到芯片的制備過程中,均需要不同用途的金剛石工具參與。

 02

 金剛砂線介紹

金剛砂線是金剛石切割線的簡稱,也被稱為鉆石切割線或鉆石線,主要用于硅片、藍(lán)寶石、磁性材料、水晶材料等硬脆性材料切割領(lǐng)域。

    半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈主要包括芯片設(shè)計(jì)、代工制作、封裝測試三部分。金剛砂線以其高硬度及高耐磨性,已成為硅片制造最重要的切割用具之一。

金剛砂線構(gòu)成:

金剛砂線由鋼絲線、銅層、金剛砂層及鍍鎳層組成。

金剛砂線相比傳統(tǒng)切割工藝的三大優(yōu)勢:

1. 漏損少,壽命長,切割速度快,切割效率高,提升產(chǎn)能。

2.  品質(zhì)受控,單片成本低,金剛砂線切割造成的損傷層小于傳統(tǒng)工藝,有利于切割更薄的硅片。

3. 環(huán)保,金剛砂線使用水基磨削液(主要是水),有利于改善作業(yè)環(huán)境,同時(shí)簡化洗凈等后道加工程序。

金剛砂線生產(chǎn)工藝:

1. 鋼線拉絲機(jī)制造高強(qiáng)度內(nèi)芯鋼絲線,金剛砂線切割過程中90%的抗拉強(qiáng)度來自鋼絲線。

2. 鍍銅機(jī)為鋼絲表面鍍上銅保護(hù)殼。

3. 上砂機(jī)和電鍍機(jī)將金剛砂附著在銅殼外層,形成金剛石微型鋸齒,再鍍上一層加厚鎳,保證上砂質(zhì)量。

4. 開刃機(jī)磨削金剛砂線上微型鋸齒,使鋸齒表層鋒利,達(dá)到最佳的切割效果。

5. 金剛砂線成品。


03

 金剛砂線開刃機(jī) 

金剛砂線由于是將金剛砂電鍍在鋼線表層,所以切割線表面會(huì)有微型鋸齒,但新生產(chǎn)出來的金剛砂線鋸齒并不鋒利,無法達(dá)到最佳的切割狀態(tài),所以需要開刃機(jī)對(duì)其鋸齒進(jìn)行磨削,使鋸齒表面鋒利,既能更高效地進(jìn)行切割,也能使切割硅材料表面造成的鋸痕規(guī)整。

金剛砂線開刃機(jī)主要分為以下三部分:

1. 收放卷部分:

使放卷輥上的金剛砂線均勻的纏繞在收卷輥上。

2. 排線部分:

控制收放卷的排線間隔。

3. 平臺(tái)升降部分:

移動(dòng)磨刀石,使金剛砂線打磨均勻。

設(shè)備工作流程:

1. 設(shè)備啟動(dòng)前需要預(yù)張緊到HMI設(shè)置的張力范圍。

2. 設(shè)備開始加速運(yùn)行到恒定速度。

3. 對(duì)金剛砂線進(jìn)行打磨,通過卷徑計(jì)算和PID調(diào)節(jié)算法,保證過線速度穩(wěn)定,使金剛砂線打磨均勻。

4. 設(shè)備運(yùn)行到HMI設(shè)置的生產(chǎn)公里數(shù),減速停止。

04

工藝難點(diǎn)

1

放卷輥排線間距不標(biāo)準(zhǔn),需程序自我調(diào)整。

2

HMI界面顯示剩余長度以及剩余時(shí)間,需要程序自動(dòng)計(jì)算。

3

收線速度需為恒定線速度(可使用計(jì)米輪信號(hào)),無法使用理論計(jì)算速度或恒定轉(zhuǎn)速生產(chǎn)。

4

整機(jī)加減速和排線換向時(shí),保證擺桿抖動(dòng)±1°以內(nèi),否則會(huì)出現(xiàn)斷線情況。

05

 禾川方案 

【方案拓?fù)洹?/strong>

【性能指標(biāo)】

1. 生產(chǎn)線徑:ф0.02-ф0.5mm。

2. 擺桿張力:0-10N。

3. 生產(chǎn)速度<=1200m/min。

4. 排線間距誤差± 1μm。

5. abs(誤差)<1%。

【方案優(yōu)勢】

1. 采用齒輪排線,能夠自動(dòng)糾偏,保持排線穩(wěn)定,包含梯形排線和R角補(bǔ)償功能。

2. 觸摸屏可以實(shí)時(shí)記錄生產(chǎn)信息,通過U盤導(dǎo)出。

3. 采用X3E EtherCAT總線伺服驅(qū)動(dòng)器+23位絕對(duì)值光編電機(jī),響應(yīng)快,一致性好。

4. 使用共直流母線技術(shù),收放卷軸在制動(dòng)過程中產(chǎn)生的再生能源能夠被合理利用和回收,實(shí)現(xiàn)節(jié)能環(huán)保。

5. 采用Q系列PAC,總線周期1ms,實(shí)現(xiàn)更精準(zhǔn)的卷徑計(jì)算和張力控制,減少短線率。